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激光器的掩模方式打标
　　近年来，准分子激光器在打标中的应用逐渐增多。准分产激光器产生的激光在紫外波段，根据工作物质的不同，可以产生193nm、248nm、308nm、353nm等激光波长，许多材料都对这些波长有较强的吸收。例如，对可见光完全透明的玻璃，对波长小于290nm的紫外光的吸收率大于99%，因此用较小的能量密度即可产生完美的标记。虽然玻璃对(：o z激光也有较好et吸收，但co z激光打标时由于热作用的影响有时标记处会产生细微龟裂，打标质量不如紫外激光。一些对cO 2和Nd;YAG激光反射宰都很高的金属，如银、铜、钥、镍等，对紫外激光也有较好的吸收。准分子激光器在进行打标时，不保co z、Nd：YAG激光器那样通过激光与材料之间的热作用，而是产生所谓的“冷剥离“，即材料表面物质的去除是通过光化学作用方式实现的。这种方式能很好地控制材料去除层的厚度，一般每个脉冲去除的材料厚度为50一500nm。根据打标材料的不同，所需激光的能量密度不一样。玻璃打标(i=l 93nm)和金属打标(A=248或308nm)时，需要的能量密度为2J/cm 2。聚合物打标(A=308和351nm)所需能量密度为o.5一U/cm2。由于准分子激光器的波长较短，因此可以实现对材料的缩微打标。
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